Патенты с меткой «химико-технологической»

Номер патента: 654695

Опубликовано: 30.03.1979

Авторы: Дедов, Егоров, Новиков, Песков

МПК: C23G 3/00

Метки: контейнере, химико-технологической

...устройство, поперечный разрез,Устройство содержит корпус 1 (см. фиг.1) со стенкой 2 и крышкой 3, на которойразмещен ряд ванн 4, 5, 6 и 7, а за стенкой2 размещен ряд электромоторов 8, один изкоторых показан на фиг, 2.Электромотор 8 через передачу 9 и редуктор 10 соединен с приспособлением переноса, включающим рычаг 11, закрепленныйна выходном валу 12 редуктора 10, и ось 13для шарнирного крепления Г-образного звена 14 с опорным роликом 15.Кроме того, на конце Г-образного звена14 (см. фиг. 3) шарнирно закреплен захват16 для фиксирования траверсы 17 посредством конического хвостовика 18.На траверсе 17 шарнирно закреплен держатель 19 контейнера 20 с обрабатываемыми деталями. По обе стороны каждой ванны 4, 5, 6 и 7 расположены опоры...

Номер патента: 870300

Опубликовано: 07.10.1981

Авторы: Межонова, Новиков, Тюлягин

МПК: B65G 49/04

Метки: контейнере, химико-технологической

...совмещения и экспонирования, на операцию проявления фоторезиста или операцию травления окисла ЯО или Я после операции задубливания.В ванны 2 заливают соответствующие растворы, после чего контейнер 1 с пластинами 12 закрепляют на подвеске О, которая в этот момент находится в крайнем верхнем положении, т. е. над ванной 2.Затем включают устройство на автоматический режим обработки полупроводниковых пластин 12.Г 1 ри этом полая Г-образная стойка 4 с помощью механизма 15 перемещается в крайнее нижнее положение, в результате чего контейнер 11 с пластинами 12 погружается в одну из ванн 2, заполненную технологическим раствором.В этот момент с помощью вала 5, шкива 6, ремня 7, шкива 8 и вала 9 от привода 13 вращения передается вращательное...