Лютович

Номер патента: 1586457

Опубликовано: 27.04.1996

Авторы: Ашуров, Кулагина, Лютович, Хикматиллаев

МПК: H01L 21/265

Метки: гетероэпитаксиальных, кремния, сапфире, структур

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР КРЕМНИЯ НА САПФИРЕ, включающий испарение в вакууме, очистку поверхности подложки ионным травлением и осаждением кремния на разогретую поверхность подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества гетероэпитаксиальных структур за счет улучшения кристаллической структуры эпитаксиального слоя, полное травление производят с помощью частично ионизированного потока кремния энергией 1-3 кэВ, со степенью ионизации 10-20% при температуре подложки 800-1100oС, а осаждение кремния осуществляют из того же потока с энергией 0,05 0,5 кэВ, степенью ионизации 0,5 10% при температуре подложки 450-700oС со скоростью 0,1-1 мкм/ч.

Номер патента: 953325

Опубликовано: 23.08.1982

Авторы: Лютович, Русанов, Суворов, Чепурной

МПК: F16K 17/04

Метки: клапан, отсечной

...установлена изоляц онная пластина 15 с двумя конта тами 16, выводы которых расположен в клем мной коробке 17.Отсечной клапан работает следующим образом.Фланцем 4 клапан подсоединен к расширителю, фланцем 5 - к газовому реле трансформатора. Пружинам 7 и 11 запорный орган 9 сбалансирован таким образом, что диэлектрическая жидкость свободно может перемещаться во всей полости клапана. Скорость движения жидкости под воздействием тепловых потоков неэначительн 4, 35 и она не в состоянии преодолеть усилие пружин 7 и 11, удерживающих рабочий орган 9 в открытОм поЛожении. При повреждении оболочки бака трансформатора поток жидкости,из40 расширителя устремпяется в полость клапана (фиг,2 . Запорный орган 9 начинает двигаться вправо и пере-...

Номер патента: 777487

Опубликовано: 07.11.1980

Авторы: Лютович, Русанов

МПК: G01L 1/02

Метки: гидравлический, динамометр

...лельными поясом же портера со Из весте содержащ диафрагмо Однако точности идиафрагма выполнена в виде упругого металлического элемента с 1.1-образным поперечным сечением.На чертеже схематически изображен гидравлический динамометр.Гидравлический динамометр содержит емкость 1, образованную двумя основаниями 2 и 3 и диафрагмой 4, герметично соединенной с основаниями. Емкость 1 заполнена рабочей жидкостью 5. Регистрирующий прибор 6 сообщен с емкостью 1. Снаружи диафрагмы 4 по всему периметру установлен защитный экран 7, выполненный из двух взаимоперекрывающихся частей 8 и 9. Диафрагма 4 выполнена в виде упругого металлического элемента с 1.1-образным поперечным сечением. При сдавливании емкости 1 рабочая жидкость 5, поскольку является...

Номер патента: 588437

Опубликовано: 15.01.1978

Авторы: Васильев, Лютович, Русанов

МПК: F16K 17/06

Метки: клапан, предохранительный

...прокладка 3, Корпус шарнирно соединен с верхними пробками 4.10 Неустойчивые пружины 5, соединенные спробками 4, установлены вдоль штока 2, К штоку 2 прикреплена в верхней его части крышка 6, а в нижней - серьга 7. На штоке установлена пружина 8. Серьга 7 шарнирно 15 соединена с консолями 9 нижних пробок 10.Каждая консоль расположена в отверстии пробки 10 и зафиксирована от проворачивания винтом 11. На резьбовом хвостовике консоли 9 установлена втулка 12, вращением 20 которой осуществляется поступательное перемещение консоли. Втулка 12 зафиксирована от продольного смещения винтом 13.Клапан работает следующим ооразом.Давление внутри емкости воздействует на 25 внутреннюю поверхность крышки 6, котораячерез шток 2 передает усилие на...