Лукошкова

Номер патента: 523469

Опубликовано: 30.07.1976

Авторы: Бузников, Варламов, Линник, Лукошкова, Майзель, Манелис, Мошкович, Пароль, Яковлева

МПК: H01J 9/02

Метки: систем, электродных

...в микроэлектронных устройствах и обеспечивает повышение каче. Изобретение относится к области микроэлектроники и может быть использовано для изготовления вакуумных микроэлектронных устройств с электронными лампами.Известен способ изготовления электродных систем, включающий операции изготовления электродов и межэлектродных промежутков 11, недостатком которого является низкая надежность очистки межэлектродных промежутков без повреждения пленочных электродов.Наиболее близким к предлагаемому техническим решением является способ изготовления электродных систем, включающий операции изготовления электродов и прожига электрическим разрядом межэлектродных промежутков путем подачи на электроды прожигающего напряжения 2. Однако этот способ не...