Лобинцов
Способ изготовления инжекционного лазера
Номер патента: 1831213
Опубликовано: 27.09.1996
Авторы: Давыдова, Лобинцов, Рыжов, Успенский, Шишкин
МПК: H01S 3/19
Метки: инжекционного, лазера
...возможно использование более простых контактов типа Т 1 Ац или баАи вместо пятислойного контакта в прототипе,Наконец, предложенное анодное окисление нарушенной ионно-химическим травлением рельефной поверхности с последующим сел ективным удалением окисной пленки мягким жидкостным травлением направлено на повышение долговечности лазера, Дело в том, что толщина удаляемой пленки (0,12 - 0,15 мкм) превышает толщину нарушенного ионной бомбардировкой слоя. Таким образом устраняется источник диффузии точечных дефектов в активную область из нарушенного слоя, которые и приводят к медленной деградации лазеров. Хотя операции, используемые в заявке на 50 / идентичны1831213 ФОРМУЛА ИЗОБРЕТЕНИЯ операциям прототипа, а вскрытие окон в изоляторе...