Лациё

Номер патента: 209942

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Гриншпун, Киршфельд, Кокле, Лациё, Озеров

МПК: C23C 14/38

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...позволяет упростить конструкцию. Для этого электрод тлеющего разряда расположен под испарителем и служит одновременно поддоном-экраном,На чертеже представлено описываемое устройство.Устройство состоит из вакуумной камеры 1, крышки 2, каретки 3, которая вместе с барабаном 4 может перекатываться иа транспортную тележку б для транспортировки на перезарядку; привода б для вращения в камере барабана во время напыления, защитного экрана 7 у входа патрубка откачной системы, плоскости электрода 8 тлеющего разряда, сменного испарителя 9 периодического действия и пульта управления 10.5 Барабан 4 заряжают подготовленными длянапаривания деталями и вкатывают с тележки б в камеру 1. Затем в камере закрепляют заряженный испаритель...