Ковряженков

Номер патента: 1018176

Опубликовано: 15.05.1983

Авторы: Ковряженков, Крот, Пакулин

МПК: H01J 49/42

Метки: магнетронный, масс-спектрометр

...масс-спектрометре, содержащем источник ионов, цилиндрический анализатор, размещенный на его оси коллектор ионов и магнитную систему, источник ионов размещен на торце анализатора и выполнен в виде двух соосных цилиндров, установленных между плоскими электродами, в одном из которых выполнена кольцевая щель, а другой соеди6,4мой 1 сточниха 21 ускоряющего напряжения.Масс-спектрометр работает следуюцом образом. Мегнитные потоки, создаваемые магйитцой системой, замыкаются через полюсные наконечники и шайбы таким образом, гто в источниках 1 и 2 ионов силовые линии магнитного поля(изображены на чертеже пунктирными линиями) направлены в источниках ионов по радиусам, а в анализаторе 5 - вдоль оси. При подаче на. электрод 9 высокого...