Коркеев

Номер патента: 432239

Опубликовано: 15.06.1974

Авторы: Анохин, Жигач, Киненков, Коркеев, Сахаровска

МПК: C23C 16/18

Метки: алюминия, диэлектрических, окиси, пленок

...при инфракрасном нагреве подложек из кремния или германия и и р типов. Перед нанесением пленки подложку обрабатывают общепринятыми методами с целью удаления следов загрязнений и дефектного поверхностного слоя, После загрузки подложки реактор эвакуируется до остаточного давления 5 10 в - мм рт, ст., а затем продувается аргоном в течение 10 мин.Осаждение пленки проводят при следующем режиме:432239 20 Предмет изобретения Составитель К. Педан Корректоры; А. Николаева и О. ДанишеваРедактор Л. Струве Текред Э, Тараненко Заказ 2919,7 Изд.1769 Тираж 875 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 475Типография, пр. Сапунова, 2 Время выдержки подложки 60 минв...