Кизиитов
Способ настройки на центральную частоту узкополосного прибора на поверхностных акустических волнах
Номер патента: 1797733
Опубликовано: 23.02.1993
МПК: H03H 3/08
Метки: акустических, волнах, настройки, поверхностных, прибора, узкополосного, центральную, частоту
...2 - встречно-штыревые преобрасвязана с подложкойто упругие свойства зователи;:3 - диэлектрическая пленка; 4 - поверхностного слоя подложки измеряют- . инфракрасное излучение; 5 - потокионов ся, что приводит к изменению фазовой ско эргона; б - стравливаемый слой диэлектрирости ПАВ, С течением времени происходит ческой пленки; 7 - оставшийся слой диэлекрелаксация механических напряжений еди- трической пленки, толщина которого электрической пленке, что приводит к не- необходима для получения заданной цент- контролируемому уходу центральной ральной частоты узкополосного прибора на частоты прибора на ПАВ. Метод химическо ПАВ, Способ настройки на центральную чаго травления не устраняет эти недостатки. стоту узкополосного прибора на ПАВ...