Хамаева
Способ изготовления интегральной магнитной головки
Номер патента: 580577
Опубликовано: 15.11.1977
Авторы: Тихонов, Филатов, Халецкий, Хамаева
МПК: G11B 5/42
Метки: головки, интегральной, магнитной
...анодированием с последующим травлением окисла углубления, анодируют поверхность полученных углублений, заполняют их магнитным материалом, формируют нижние полувитки обмотки путем анодирования металла до подложки и в окисном слое, вскрывают контактные площадки.Способ поясняется чертежами (на фпг.1 - 15 показана очередность операций).На подложку 1 наносят пленку 2 вентпльного металла (фиг, 1). Эту пленку под,вергают селективному анодированию на глубину, равную толщине магнитопровода в канавках 3. Путем травления пленки получают углубления 4 (фиг. 3 и 4). После этого анодируют всю поверхность, формируя пленку 5 (фиг. 5), которая служит надежной изоляцией между обмоткой 6 и магнитопроводом 7 (фиг. 6, 7 и 9), Но перед этим в местс...