Катюков

Номер патента: 435925

Опубликовано: 15.07.1974

Авторы: Катюков, Пекарев, Ушаков, Чист

МПК: H01L 21/304

Метки: 3hoileptq8i, алмазоподобной, кристаллическойрешеткойвп, монокристалловс, тбфонд, шлифовки

...на определенный угол. Однако полностью исключить отклонение от прямолинейного направления шлифовки и неравномерность съема материала невозможно,Цель изобретения - улучшение качестваповерхности и повышение скорости шлифования,молинейное движение с периодичесротом на заданный угол без отрываот шлифовальника. Способ шлифовки состоит в том, что подложка движется поступательно относительно шлифовальника по многоугольнику. Каждая сторона многоугольника - это кристаллографическое направление (1 Л/1 Ч), входящее в семейство заданных направлений (1.1 Ъ%). При этом все точки поверхности подложки шлифуются кристаллографически одинаково, Например, для подложки, ориентированной поверхностью по (111), задано направление шлифовки (110). Тогда...