H03H 3/02 — для изготовления пьезоэлектрических и электрострикционных резонаторов или цепей (схем)

Номер патента: 1679940

Опубликовано: 10.10.1996

Авторы: Кибирев, Филимендикова, Ярош

МПК: H03H 3/02

Метки: кварцевых, пьезоэлементов

1. Способ изготовления кварцевых пьезоэлементов, включающий вырезание заготовок кварцевых пьезоэлементов, шлифовку кварцевых пьезоэлементов и химическое травление при температуре раствора 290 368 К и перемещении кварцевых пьезоэлементов в растворе, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных, перемещение пластин в растворе осуществляется круговым реверсивным движением с частотой 0,17 0,75 об/с и углом перемещения 180 - 270o, а также возвратно-поступательным движением на расстояние, равное 0,8 1,4Н, где Н размер кварцевого пьезоэлемента в направлении возвратно-поступательного движения, причем в течение всего процесса травления заданное значение температуры травления поддерживается с точностью