Филимендикова

Номер патента: 1679940

Опубликовано: 10.10.1996

Авторы: Кибирев, Филимендикова, Ярош

МПК: H03H 3/02

Метки: кварцевых, пьезоэлементов

1. Способ изготовления кварцевых пьезоэлементов, включающий вырезание заготовок кварцевых пьезоэлементов, шлифовку кварцевых пьезоэлементов и химическое травление при температуре раствора 290 368 К и перемещении кварцевых пьезоэлементов в растворе, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных, перемещение пластин в растворе осуществляется круговым реверсивным движением с частотой 0,17 0,75 об/с и углом перемещения 180 - 270o, а также возвратно-поступательным движением на расстояние, равное 0,8 1,4Н, где Н размер кварцевого пьезоэлемента в направлении возвратно-поступательного движения, причем в течение всего процесса травления заданное значение температуры травления поддерживается с точностью

Номер патента: 1739826

Опубликовано: 09.01.1995

Авторы: Кибирев, Филимендикова, Ярош

МПК: H03H 3/02

Метки: кварцевых, кристаллических, элементов

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ, включающий механическую обработку заготовки из кварца и ее химико-динамическое травление в кислотном растворе с поверхностно-активными добавками, проводимое в два этапа, первый из которых проводят при температуре 348 - 373 К, отличающийся тем, что, с целью уменьшения трудоемкости и повышения выхода годных, химико-динамическое травление на первом этапе осуществляют до получения шероховатости поверхности заготовки не более 5 10-8 м, а на втором этапе, проводимом при той же температуре, что и первый, до получения шероховатости поверхности заготовки не более 3