H01J 49/16 — с использованием поверхностной ионизации, например холодная эмиссия, термоионная эмиссия или фотоэмиссия

Номер патента: 1257725

Опубликовано: 15.09.1986

Авторы: Коляда, Марченко, Нагорная, Черепин

МПК: G01N 27/68, H01J 49/16

Метки: анализа, веществ, послойного, твердых

...эмиссии на границе слоя.Идентичность состава многослойного образца и исследуемого твердого вещества исключает необходимость использования коэффициентов распыления ивторичной ионной эмиссии, что повышает точность анализа. В практике получения тонких пленок методами вакуумного осаждения известен прием получения пленок с минимальным содержанием адсорбированных газов, который состоит в выборе соотношения между скоростями напыления и адсорбции - первая должна значительно превышать вторую. Этот технологический прием используется в предлагаемом изобретении, однако только совместно с другим признаком (временем формирования соединения на поверхности) удается достичь конечной цели способа - получение многослойной структуры из одного...