H01J 37/34 — работающие с катодным распылением

Номер патента: 502422

Опубликовано: 05.02.1976

Авторы: Соловьева, Третьяков

МПК: H01J 37/34

Метки: ионов, источник, многозарядных, циклотронный

...работы источника,Поставленная цель достигается тем, чтораспыляемый электрод закреплен на держателе, который установлен на каретке, приводи 30 мой в движение дистанционно механизмом,например клиновым, по мере расхода рабочего вещества. Установка в оптимальное положение производится по интенсивности пучка ускоренных ионов. Сбор израсходованного рабочего вещества обеспечивается объемными сборниками, располагаемыми вблизи электрода,На чертеже показан предложенный ионный источник. Источник ионов содержит нить накала 1, катод 2, разрядную камеру 3, держатель 4 антикатода, распыляемый электрод 5, держатель 6 распыляемого электрода, съемную кассету 7, вкладыш 8 с эмиссионной щелью, подвижную каретку 9, изоляторы 10.Источник работает в...

Номер патента: 637894

Опубликовано: 15.12.1978

Авторы: Соловьева, Третьяков

МПК: H01J 37/34

Метки: ионов, источник, многозарядных, циклотронный

...первого полуоборота.В ионном источнике предлагаемой конструкции распыляемый электрод 8 не подвержен обратной бомбардировке ионами 5 под действием высокочастотного напряжения на пуллере 7. Поэтому при нулевом потенциале на электроде рабочее вещество с электрода не поступает в разряд. Сборник 4 распыленного рабочего вещества расположен таким образом, что значительная часть его по" верхности подвергается обратной бомбардировке ионами 5, которые не успели пересечь первый ускоряющий проме637894 Формула изобретения Составитель Е. МедведевТехредО, АндрейКО КорректорЛ. Василина Редактор И, Шубина Заказ 7129/44 Тираж 918 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж,...

Номер патента: 1279447

Опубликовано: 07.08.1987

Автор: Третьяков

МПК: H01J 37/34, H05H 13/00

Метки: ионов, источник

...чертеже не показан). Векторы Зо магнитного поля В и электрического поля Е задают направление скорости дрейфа плазмы 71 абота устройства происходит следующим образом.По мере расходования распыляемого электрода 2, содержащего рабочее вещество, увеличивают положительный потенциал на сборнике 4. В скрещенных :агнитном поле В и электрическом полеГ, образующемся в системе сборник 4разряаная камера 3, происходит дрейфплазмы в сторону распыляемого электро,.та 2 се скоростьючх ВВ".а фиг.1 схематически показаны траеко пи ионов, бомбардирующих распыяемый -;Рктрод. Хаким образом под .",.ерживается аданный ток распыляемо 50электрод и необходимый расход рабочего веществ.В распоряжение оператора циклотрона постунае быстрый, в отличие отмеханического...