Источник ионов

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 19) 01) 7 А 1 1) 4 Н 01 ) 37/34,Н 13 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ А ВТОРСКОМ,1/ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ЫЩ у,с дерных ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИИ(71) Объединенный институт яисследований(56) Авторское свидетельство СР 637894, кл. Н 01 3 37/34,Н 05 Н 13/00, 1976.Авторское свидетельство СССУ 502422, кл. Н 01 3 37/34,Н 05 Н 13/00, 1976,(54) ИСТОЧНИК ИОНОВ(57) Изобретение относится к ускорительной технике. Цель изобретения -повышение надежности и уменьшение габаритов источника ионов. По мере расходования распыляемого электрода (Э)2, содержащего рабочее вещество, увеличивается положительный потенциална сборнике 4. В скрещенных магнитномполе В и электрическом поле Е, образующемся в системе сборник 4-разрядная камера 3, происходит дрейф плазмыч сторону Э 2 со скоростью 7 в = Е++ В/В. Выполнение сборника 4 изолированньм, размещение его вдоль противоположной металлической накладки 5, атакже расположение Э 2, сборника 4 рабочего вещества и металлической накладки 5 в проекции разрядной камеры3 на К полюс по часовой стрелке исключает расплавление Э 2, т.е. последний при сборке устанавливается на границе пучка первичных электронов. Источник позволяет осуществить продол- Жжительную работу в режиме, обеспечива- фующем стабильный пучок ускоренных мно- ф фгоразрядных ионов твердых веществ.2 ил.Изобретение относится к ускорительной технике, а именно к ионным источникам циклотронов, ускоряющих многозарядные ионы.Поэтому источник снабжен дистанционным механизмом перемещения распыляемого электрода.Целью изобретения является повышение надежности и уменьшение габаритов 10 источника ионов.На фиг.1 изображен источник ионов, сечение в медианной плоскости электромагнита; на фиг.2 - то же, вертикальный разрез. 15На держателе 1 закреплен распыляемый электрод 2, который введен в разрядную камеру 3. В разрядной камере 3 установлен изолированный сборник 4 рабочего вещества, к которому подклю О чен положительный полюс регулируемого выпрямителя (на чертеже не показан). На боковой поверхности разрядной камеры 3 закреплена металлическая накладка 5 со щелью. 25ЬИзвлекающий электрод б установлен напротив щели. Катод 7 и антикатод 8 расположены соосно с разрядной камерой 3 и параллельно оси 9 электромагнита (ыа чертеже не показан). Векторы Зо магнитного поля В и электрического поля Е задают направление скорости дрейфа плазмы 71 абота устройства происходит следующим образом.По мере расходования распыляемого электрода 2, содержащего рабочее вещество, увеличивают положительный потенциал на сборнике 4. В скрещенных :агнитном поле В и электрическом полеГ, образующемся в системе сборник 4разряаная камера 3, происходит дрейфплазмы в сторону распыляемого электро,.та 2 се скоростьючх ВВ".а фиг.1 схематически показаны траеко пи ионов, бомбардирующих распыяемый -;Рктрод. Хаким образом под .",.ерживается аданный ток распыляемо 50электрод и необходимый расход рабочего веществ.В распоряжение оператора циклотрона постунае быстрый, в отличие отмеханического перемещения способ возЭ55действия на распыляемый электрод. Полнос ью исключаются ошибочные дейстии: в источнике с подвижным держателе .,лектрода при чрезмерной подаче электрода в разряд, когда электрод попадает под пучок первичных электронов с катода, он расплавляется. В предлагаемом устройстве такое положение исключается: распыляемый электрод при сборке устанавливается на границе пучка первичных электронов, т.е. уровень с проекцией края катода, а в дальнейшем за счет расходования рабочего вещества распыляемая грань электрода только удаляется от этой границы.Предлагаемый источник позволяет осуществить продолжительную работу в режиме, обеспечивающем стабильный пучок ускоренных многоразрядных ионов твердых веществ (например кобальта). Ликвидация механизма перемещения распыляемого электрода позволяет сконструировать компактный источник многозарядных ионоь твердых веществ.Формула изобретенияИсточник ионов, содержащий электромагнит с Н и Я полюсами, в зазоремежду которыми параллельно оси электромагнита установлены расположенные соосно катод, разрядная камераи антикатод, причем на боковой поверхности разрядной камеры закреплена металлическая накладка, содержащая эмиссионную щель, напротив которой установлен извлекающий электрод, а вовнутренней полости разрядной камерыв области, ограниченной накладкой,размещены распыляемый электрод с рабочим веществом и сборник рабочего вещества, причем плоскость основанияуказанного сборника параллельна, аплоскость торца распыляемого электрода перпендикулярна плоскости накладки, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью повышения надежности иуменьшения габаритов, сборник распыленного вещества выполнен изолированным, расположен вдоль противоположнойметаллической накладке боковой поверхности разрядной камеры и подключен к положительному полюсу дополнительно введенного регулируемого выпрямителя, который своим отрицательным полюсом подключен к разрядной камере, при этом распыляемый электрод,сборник рабочего вещества и металлическая накладка в проекции разряднойкамеры на И полюс размещены по часовой стрелке соответственно,1279447 Е ОУд фиг. Р Составитель Ю.СамошенкТехред М,Моргентал орректор М.Шароши ктор О.Стени 8 аказ 3611/1ВНИИП одписное Тираж И Государств делам изобре 5, Москва, Ж комитета СС открытий