H01J 37/304 — управление приборами с помощью информации, поступающей от объекта, например сигналов коррекции

Электронно-оптическая проекционная система для изготовления микросхем

Загрузка...

Номер патента: 1115134

Опубликовано: 23.09.1984

Автор: Архаров

МПК: H01J 37/304

Метки: микросхем, проекционная, электронно-оптическая

...вдоль оптической оси электронную пушку, первую систему конденсорных линз, первую ОС, вторую систему конденсорных линз, маску, подвижную заслонку, первую проекционную систему, вторую ОС и вторую проекционную систему, снабжена дополнительной системой из четырех мини- линз и дополнительной ОС, последовательно установленными между первой и второй системами конденсорных линз, и дополнительной подвижной заслонкой с четырьмя отверстиями, установленной между второй системой конденсорных линз и маской, при этом минилинзы расположены симметрично 5 1 О 15 20 25 зо 35 40 45 50 55 относительно оптической оси равномерно по окружности и оптически сопряжены с отверстиями дополнительной заслонки.На чертеже представлена схема ЭОПС.ЭОПС содержит...

Способ управления режимом лучевой установки

Номер патента: 1308163

Опубликовано: 30.09.1994

Авторы: Алексеев, Димитров, Завьялов, Лисин, Михин, Переводчиков, Покровский, Тарасенков, Хасанов, Хомский

МПК: H01J 37/304, H05B 7/18

Метки: лучевой, режимом, установки

1. СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ РЕЖИМОМ ЛУЧЕВОЙ УСТАНОВКИ, содержащей электронную пушку, технологическую камеру, источник питания и блок управления режимом работы, при котором стабилизируют мощность электронной пушки, контролируют параметры электронного пучка и плазмы и профилактически отключают пушку по достижении параметрами плазмы критических значений, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей установки путем управления переходными процессами в критических режимах, фиксируют контролируемые параметры в момент развития пучково-плазменного разряда в технологической камере и осуществляют плавное гашение ускоряющего поля в электронной пушке с одновременным плавным переводом источника питания из режима источника напряжения в...