H01J 27/08 — с использованием дугового разряда

Номер патента: 1685210

Опубликовано: 15.04.1993

Авторы: Пузиков, Семенов

МПК: H01J 27/08

Метки: ионами, подложек, углерода

...образом, за счет перезарядкипучка ионов с повышенной энергией (70- 100 эВ) в потоке собственных нейтральных атомов, формируется интенсивный поток, 15 вторичных медленных ионов, энергия которых может быть предельно малой. Если .сравнивать интенсивность первичного пучка ионов с энергией 20 эВ с интенсивностью потока вторичных ионов с той же энергией, 20 полученных в результате перезарядки первичных ионов с,энергией 100 эВ, то интенсивность потока вторичных ионов оказывается больше примерно на порядок величины,На фиг. 1 схематично изображено пред лагаемое устройство; на фиг,2 - график зависимости тока первичных и вторичных ионов на подложку от потенциала дополнительного электрода, приведенного к потенциалу извлекающего электрода, где кривая...

Номер патента: 2002333

Опубликовано: 30.10.1993

Авторы: Андреев, Григорьев, Саблев

МПК: H01J 27/08

Метки: ионный, источник

...сетки 10), В цепи электропитания вакуумно-дугового разряда установлено токовое реле 15, исполнительный орган 16 которого(нормально открытые контакты) включен в цепь электропитания эмиссионной сетки 10 и в цепь ускоряющего напряжения.В анодной части 6 разрядной полости 2 может быть установлен дополнительный электроизолированный от камеры посредством изолятора 17 распыляемый электрод 18 (фиг.2); соединенный с отрицательным полюсом источника 19 электропитания. Работает ионный источник следующим образом. Вакуумная камера 1 системой откачки откачивается до давления 10 Па и затем в-знее напускается рабочий газ (например, аргон) до давления 10 Па, С помощью системы поджига между катодом 3 и анодом 4 в разрядной полости 2 возбуждается...

Номер патента: 2002334

Опубликовано: 30.10.1993

Авторы: Андреев, Григорьев, Саблев

МПК: H01J 27/08

Метки: генерирования, ионного, пучка

...электронов перегородки 5. Катодная часть 6 разрядной полости 2 заполнена металлогазовой плазмой. Ионы металла генерируются в катодном пятне дуги и распространяются с поверхности катода по прямолинейным траекториям.Поскольку перегородка 5 не проницаема для ионов металла, ионы металла задерживаются ей и в анодную часть 7 разрядной полости 2 не попадают.Анодная часть 7 разрядной полости 2 заполнена положительным столбом чисто газовой плазмы, образуемой электронами, проходящими через перегородку 5 под действием электрического поля анода 4. При возникновении разрядного тока в цепи катода 3 и анода 4 срабатывает токовое реле 15, которое своим исполнительным органом 16 (нормально открытые контакты) включает источники 13 и 14...

Номер патента: 2003196

Опубликовано: 15.11.1993

Авторы: Андреев, Григорьев, Саблев

МПК: H01J 27/08

Метки: большого, генерирования, ионного, пучка, сечения

...перемещения в направлении, по меньшей мере, одной из стенок разрядной полости камеры. Кроме того. установка снабжена дополнительным электродом 16 и управляемым двухполюсным ключом 17, Дополнительный электрод 16 установлен напротив катода в рабочей полости 7 камеры и электрически изолирован от последней. Анод 3 электро-дугового разряда и электрод 16 посредством двухполюсного ключа 17 электрически соединены с положительным полюсом источника 11 электропитания разряда с возможностью поочередного их подключения к указанному источнику,5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Работает установка при выдвинутых сетке и перегородке и при подаче положительного потенциала от источника 11 на анод 3 (двухполюсный ключ в положении "В") следующим образом,...