H01G 3/06 — H01G 3/06

Номер патента: 476614

Опубликовано: 05.07.1975

Авторы: Красов, Ласкорин, Марин, Никитенко, Смирнов, Хромов

МПК: H01G 3/06

Метки: емкости, конденсатор, постоянной, тонкопленочный

...ме ма. 20 Изобретение относится к радиотехнике иможет быть использовано в микроэлектронике при производстве тонкопленочных гибридных микросхем.Известен тонкопленочный конденсатор постоянной емкости, выполненный на основе системы металл-диэлектрик-металл с диэлектриком из соединения редкоземельного металла.Основными недостатками известного тонкопленочного конденсатора постояиной емкостиявляются невысокая максимальная удельнаяемкость (С,п=50 - :70 тыс. пф/смз) и сравнительно низкая электрическая прочность(Епр= (1 - :2) 10 в/см),Цель изобретения - повышение удельнойемкости и электрическои прочности,Поставленная цель достигается тем, что вкачестве соединения редкоземельного металла для диэлектрика использован скандиатредкоземельного металла,...