Гусейн-Курбан

Номер патента: 1701757

Опубликовано: 30.12.1991

Авторы: Горелик, Гусейн-Курбан, Черных

МПК: C30B 23/02

Метки: кластеров, металлоорганических, соединений

...вакуума 10 мм рт.ст. (тор) включают испарители 9 металла, Участок поверхности матрицы в результате вращения цилиндрической подложки попадает в зону осаждения частиц металла, которые взаимодействуют с матрицей и в зависимости от условий образуют МОС или кластеры, Далее, вращаясь, этот же участок г,опадает а следующую зону осаждения другого металла (металлы могут быть различными), Таким образом, происходит процесс последовательной конденсации частиц металлов (см. фиг. 3). За последней зоной осаждения частиц металла установлен нож 7 для среза матрицы. Срезанные куски матрицы сбрасывают в коллектор 8 для сбора срезанного продукта, где они тают и выводятся из корпуса. Для одновременной конденсации частиц металла испэрители частиц 9 необходимо...