G03C 7/12 — с помощью фотоэкспозиции

Номер патента: 520561

Опубликовано: 05.07.1976

Авторы: Гикалко, Микулин, Писной, Федоренко

МПК: G03C 7/12

Метки: облученности, пленок, фоторезистов

...р и м е р. формируют на проводподложке субмикронную светочувствиту для типоофсетной печати из фомарки С 6 на основе смешанныхв. На универсальном диэлектром икулин, В. И. Гикало, Б. Я. Писной и Т. П,федоренко 2типа ОН 301 (ВНР) измеряют электричес,кие параметры пленки (см. таблицу) в про 1 цессе ее экспонирования актиничкым излучением лампы ДРШв следующих усло;виях: частота 3 мгц, давление электродов та образец 0,55 кгс/см 2, площадь электро дов 3,14 см 2, температура окружающейф осреды 20 С, атмосферное давление 755 мм рт.ствлажность воздуха в помещении 85%, Толщину пленки измеряют на интерферометре марки МИИпосле экспонирования ее и проявления рельефа.Изменения электрических параметров пленки фоторезиста марки С 6 после...