Эйвинн
Способ получения трихлормоносилана
Номер патента: 1838236
Опубликовано: 30.08.1993
МПК: C01B 33/04
Метки: трихлормоносилана
...расплавленного кремния, поээоляет достичь удивительно высокой эффективности расходования газообразного НС в способе получения трихлормоносилана на основе взаимодействия кремниевого порошка с газообразным НС.1838236 4 СоставительТехред М,Моргентал Корректор Н, Ревская Редактор Заказ 2897 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Предметом настоящего изобретения также является способ получения трихлормоносилана в реакторе с псевдоожиженным слоем в результате взаимодействия кремниевого порошка с газообразным НС при температуре от 280 до 300 С, причем этот способ отличается тем,...