Чистопа

Номер патента: 359706

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Джуринский, Красов, Крикоров, Тананаев, Хромов, Чистопа

МПК: H01G 4/20

Метки: емкости, конденсатор, постоянной, тонкопленочный

...д1.ЯгСаз(ВОз)полученныйспекяния илиНапыление1. ЯгС аз (В Оз)термического го слоя издом вакуумно торр) нз рези публиковано 21,Х.1972, Б ата опубликования описа осится к тонопленочным ользуемым в электронной водстве гибридных интегстцвного тя палового (вольфрамового) нспярителя при температуре испарения 1200 - 1400 С н температуре подложки 150 С.Г 1 олучецный тоцкопленочный конденсатор с ялом иниевьми электродамн имеет при толщнсне диэлектрика 3000 - 4000 А удельную емкость 27000 - 30000 пф/с,г, тангенс диэлектрических потерь 0,009 - 0,01 н пробивное напряжение 00 гг.П р и м е р 2. Для изготовления тонкопленочного конденсатора в качестве диэлектрика используют двойной борат лантана со стронцием 1 аггз (ВОз) 4 стехиометрического...