Чакушин

Номер патента: 1176190

Опубликовано: 30.08.1985

Авторы: Бурханов, Зарипов, Миркамилов, Петрова, Чакушин

МПК: G01L 7/02

Метки: давления, датчик

...круглая мембрана 3. Основание 1 в области мембраны 3 имеет углубление 1 в видЕ шарового сегмента, образующее с подложкой 2 герметичную полость 4, в дентре которой находится ртутный затвор 5. На полупроводниковой подложке 2, например, иэ кремния и-типа 20 сформированы в виде секторов области истока 6 и стока 2, а данном случае р-типа. В геометрическом центре сформированной структуры, совпадающем с центром мембраны 3, сформирована р 5 п+ область 8 для контакта ртутного затвора 5 с полупроводниковой подложкой 2. Для создания омического контакта к подложке сформирована пф область 9.Поверхность полупроводниковойструк-Зо туры покрыта слоем окиси кремния с окнами в центре мембраны 3 и под металлизацией 10 для электродов исток 90 211, стока 12...

Номер патента: 1024715

Опубликовано: 23.06.1983

Авторы: Зарипов, Миркамилов, Нигматходжаев, Петрова, Чакушин

МПК: G01B 21/00

Метки: перемещений, фотоэлектрический

...дифференциальному вклю"55; ценив каждой из частей полупрозрачного слоя, лежащих по разные стороныот щели синусоидальной формы, можноввести постоянную составляющую фотоИзобретение относится к контроль"ио"измерительной технике и можетбыть использовано в автоматике вкачестве датчика перемещения илиФункционального преобразователя.Известен преобразователь светового сигнала, состоящий из прямотг.угольной полупроводниковой пластиныс четырьмя контактами, с которыхснимается напряжение, зависящее отинтенсивности падающего света и величины засвечиваемой поверхности .Я.Наиболее близким к изобретениюявляется Фотоэлектрический преобразователь перемещений, содержащийисточник света и установленные последовательно по ходу светового...