C30B 15/16 — облучением или электрическим разрядом

Номер патента: 113874

Опубликовано: 01.01.1958

Автор: Романов

МПК: C30B 15/16, C30B 29/06

Метки: кремния, плавления

..."15 к вертикали над окнами 9 и 10 из кварца, эти потоки лучистой энергии концентрируются на вершине кучки кремния 14 так, что дейсттельные изобраЖения к)ят 61)св элект)ических дуг няклядывяютс 51 ОднО ця другое и фс"- сируются в виде светящегося пятна 17, несколько .мещеццого отцос)Тс.1- цо оси вращения массы кремция.Для уменьшеция потери лучистой энеЬ)гии вогнутое зеркало 1,3 и плоские зеркала 15 и 1 б выполнены из металла или с внецп)им покрытием из металла, а потери тепла за счет излучения его расплавом кремния цредо,- врашаются экранами 5 и 6.Внутри камеры 1 оси потоков уистой энергии находятся в одной плоскости, перпендикулярной к плоскости слоя 18 расплавленного кре;- ния.Лучистая энергия, концентрируемая на вершине кучки...

Номер патента: 159293

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: C30B 15/16

Метки: 159293

...с краем в виде дуги. Это дает возможность при бестигельном расплавлении исходного материала в печах вытягивания монокристаллов по методу Чохральского создать строго кольцевую зону нагрева и получить равномерное тепловое поле.На чертеже изображена схема бестигельного вытягивания монокристалла с помощью предлагаемого нагревателя.Нагреватель состоит из шести - восьми электронных пушек 1, формирующих вертикальные плоские пучки электронов. Каждая электронная пушка имеет линейный вольфрамовый катод 2, расположенный в щели фокусирующего электрода 3, ускоряющий анод 4, отклоняюшую пластину б и экран б. Отклоняющая пластина 5 находится под по. тенциалом фокусирующего электрода и выполнена с краем в виде дуги. Плоский пучок электронов 7,...