C23C 16/22 — характеризуемые осаждением неорганического материала иного, чем металлический

Номер патента: 792986

Опубликовано: 15.04.1987

Авторы: Васильева, Гиновкер, Иванов, Насонов, Попов, Фомин

МПК: C23C 16/22

Метки: газовой, нанесения, покрытий, реактор, фазы

...протекающие в газовой фазе, несущественны.Поэтому не удается получить равномерные пленки нитрида кремния из силана и аммиака, а применяется смесь дихлорсилана с аммиаком, что значительно усложняет и удорожает процесс. Кроме того, использование этой смеси требует применения дополнительного оборудования для защиты форвакуумных насосов от коррозии.Для сохранения достаточно высокой производительности реактора при низком давлении реагентов и малом зазоре между пластинами необходимо повышать температуру роста, либо использовать концентрированные реагенты, что не всегда возможно в условиях цехового производства,Целью изобретения является повышение качества покрытия.Поставленная цель в изобретении достигается тем, что реактор снабжен...