Былкина

Номер патента: 1046803

Опубликовано: 07.10.1983

Авторы: Былкина, Морозов, Розыев

МПК: H01L 21/312

Метки: пленки, формирования, фоторезиста

...сил, что повышает равномерность толщины пленки фоторезиста и ее .воспроизводимость. первичному слою, приводящее к появлению неравномерности толщин пленки фоторезиста и к снижению воспроизводимости толщины.Цель изобретения - повышение равномерности и воспроизводимости толщины наносимой ллвнки.Поставленная цель достигается тем, что согласно способу формирования пленки фоторезиста, включающему нанесение иэ доэатора дозы фоторезиста на вращающуюся подложку в центр вращениядозу фоторезиста наносят в виде капли при ее истечении из доза- тора под действием силы тяжести при расстоянии дозатор-подложка, равном, высоте капли, причем сечение капли задают сечением дозатора, определяе.мым по формуле5:к,4 к,( )- -ем рр где 5 у, -...

Номер патента: 1035844

Опубликовано: 15.08.1983

Авторы: Былкина, Морозов, Розыев

МПК: H05K 3/00

Метки: нанесения, подложки, фоторезиста

...зазор экрана 40с подложкой некруглой формы по еепериметру.Наиболее близким к предлагаемомупо технической сущности являетсяустройство для нанесения фоторезиста 45иа подложки, содержащее центрифугусо столиком для размещения подложкии съемный экран, расположенный наупорах над столиком центрифуги 2,.Однако это устройство также непозволяет получить высокое качество.изделий, так как не устраняет полностью краевое утолщение слоя фотореаиста, обусловленное силами поверхностного натяжения.Цель изобретения - повышение качества изделий. Указанная цель достигается тем, что в устройстве для нанесения Фоторезиста на подложки содержащем центрифугу со столиком для размещения подложки и съемный экран, расположенный на упорах над столиком центрифуги...

Номер патента: 395272

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Былкина, Наумов

МПК: B29C 45/26, B29C 45/44

Метки: литьевая, пресс-форла

...8. Положение частей формы фиксируется с помощью направляющих колонок 9 и втулок 10, установленных соответственно в обоиме 2 и сталкивающей плите 5.Промежуточная плита 6 выполнена с Т-образными пазами а, имеющими ограничительные планки 11, В пазах установлены ползушки 12, в которых закроплены хвостовики знаков 13, расположенных под углом к плоскости разъема пресс-формы и проходящих через сталкивающую плиту.Между ползушками и ограничительными планками в закрытом положении пресс-формы образуется зазор, длина которого должна несколько превышать наибольшую длину наклонного отверстия в изделии.Выталкивающая система, содержащая плиты 14 с укрепленными в них хвостовиками 15, связана тягами 16 со сталкивающей плитой.Пресс-форма работает следующим...