Брюхацкий
Индуктор для подогрева растущего монокристалла
Номер патента: 485762
Опубликовано: 30.09.1975
Авторы: Брюхацкий, Кокойло, Неймарк, Самелюк
МПК: B01J 17/10
Метки: индуктор, монокристалла, подогрева, растущего
...по междьше 1 ертеже изображенаельной зонной плавко монокристалла про индуктора,роцесса вом рапредла схемас пологпомоще Изобретение относит проводников и может бестигельной зонной п гих полупроводниковыИзвестны индукторы щего монокристалла в зонной плавки, состоя ских витков.Однако такие индукт гревают монокристалл ва, Кроме того, индукт волнообразно изогнутог неравномерный нагрев Индуктор 1 для подогрева растущего моно- кристалла 2 расположен под плавильным индуктором 3, создающим расплавленную зону 4, и выполнен из нескольких витков 5, последовательно расположенных по его оси так, что расстояние Й между токопроводами соседних витков меньше амплитуд 5 волн. Количество витков при этом должно обеспечивать требуемую высоту зоны нагрева до...