Болашенкова

Номер патента: 1080224

Опубликовано: 15.03.1984

Авторы: Болашенкова, Стучинский

МПК: H01J 9/12

Метки: прибора, электровакуумного

...предусматриваетдопустимое увеличение давленияводорода до атмосферного. Времяпрогрева в водороде не является критичный параметром технологическогопроцесса. В реальных условиях минимальное время составляет минуты,так как за меньшее время труднообеспечить установившийся режим прогрева, Увеличение же времени донескольких часов и более ведет кнеоправданному затягиванию процесса изготовления прибора,Кроме прогрева в атмосфере водорода могут быть включены проводимые в различной последовательности известные технологические операции изготовления ОЭС-эмиттеров, втом числе прогревы в вакууме, в парахщелочного металла, различные видыобработки в атмосфере кислорода ит,д. Обработка полупроводника в атмосфере водорода способствует удалению...