Блаер

Номер патента: 139895

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Блаер, Высоцкий, Жигулева, Капланский, Ливанов-Либаков, Оршанский, Петровская, Поволоцкий, Савин

МПК: C23C 14/54

Метки: автомат, вакууме, нанесения, покрытий

...импульс на контрольный прибор пультоупряВления. Зягр "Яку изделий В авто.ят и Выгрузку их пз 1 е. О осуществляют в блоках, несущих на себе кроме кассеты с изделиями вспомогательные устройства: испаритель с нспаряемым веществом, ко.1- такты для подводки элсктроэнергии и летали привода движения изделий вокруг испарителя.Предмет изобретенияЛвтомат для нанесения покрытий в Вакууме, выполненный в Нияз вертикальной круглой карусельной машины, смонтированной на и:давидуальпой опоре, и снабжсннь.и форвакуумным и диффузионным насосами, о тл и ч а ю 1 ц и й с я тем, что, с целью автоматизации процесса нанесения пленок В Вакууме, автомат снябксн Оощей ряспредсл 1 Счьной ВякуумнОЙ системой, смонтирОВянной по; ьрящающимся с Олом, я также...