Бизинская

Способ контроля качества поверхности пластин

Загрузка...

Номер патента: 783653

Опубликовано: 30.11.1980

Авторы: Баковец, Бизинская

МПК: G01N 13/00

Метки: качества, пластин, поверхности

...1 - 2 мм.Для пластин с одной или разных полировальных головок, прошедших один итот же режим химической обработки исушки, угол смачивания составил157 + Зо, Количество проконтролированных пластин - 25 штук.783653 Стандартная обработка без кистевой мойки Стандартная обработкабез кистевой мойки сизменением временихранения пластин вкассетах в индустри-альной атмосфере Стандартная обработка с изменением времени хранения пластин в кассетах в индустриальной атмос- Фере Р головки Я+разброс,град. 8+ разброс град.Р пластины Р го- ловки времяхранения Р го- ловки 6+разбросград время Р пластины хранения 139+4 О 130+148 О 1 2 ч 143+2 2 24 ч 147+3 3 24 ч 139+3 2 Змин ЗОьин 60 мин 24 ч О 3 146+ 3 148+2 1 142+ 3 138+4 24 ч 24 ч фВеличина углов...