Бирковый

Номер патента: 1775491

Опубликовано: 15.11.1992

Авторы: Бирковый, Ван-Чин, Гаврилив, Гутор, Кочубей, Цьолковский

МПК: C23C 16/18

Метки: окиси, пленок, цинка

...60 - 80 мм рт,ст,Существенными отличительными признаками способа являются проведением 20процесса при низких температурах 20 -50 С, что предотвращает термическуюдеформацию подложек, уменьшает термодиффузию примесей в слой получаемойпленки окиси цинка; использование в качестве окислителя водород-кислородной смеси при низком давлении. Реакцию проводят в горизонтальной кварцевой трубе с внешним обогревом. Ис пользуют предварительно приготовленную смесь алкилпроизводных цинка с водородом и кислород, Давление в реакторе составляет 60 - 80 мм рт.ст, С помощью генератора искрового разряда зажигают ре акционную смесь внутри реактора. Вследствие прохождения реакции окисления на поверхности пластин осаждается слой окиси цинка. Время реакции...