Басай
Способ ориентирования монокристаллической мишени
Номер патента: 1341731
Опубликовано: 30.09.1987
Авторы: Басай, Воробьев, Гриднев, Розум, Хлабутин
МПК: H05H 6/00
Метки: мишени, монокристаллической, ориентирования
...оси с шагом ьу(6 1/4 19 ир 9 гги РегистРиРовать Угловые распределения прошедших черезмишень электронов с угловым разрешением У1/2 1 р 9 , Реально этотдиапазон энергий составляет 0,515 МэВ.Толщина монокристаллической мише-.ни для этого диапазона определяетсявозможностью получения дискретногоанизотропного углового распределенияпрошедшего через мишень пучка электронов и составляет величину 0,520 мкм, Гониометрическое устройствопозволяет изменять угол наклона сТОЧНОСТЬЮ 6 Р1/4 УИрэггд . СИСТЕМарегистрации имеет угловое разрешениеживне меньше У /2 и позволяет досбр 9 ггятаточно быстро фиксировать угловыераспределения,Способ ориентирования осуществляется следующим образом,Монокристаллическую мишень, например, кремния, толщиной 2...