Барэ

Номер патента: 1809919

Опубликовано: 15.04.1993

Авторы: Барэ, Таллон

МПК: G01M 3/02

Метки: газа, детектирования, индикатора, помощью, утечки

...в режиме"прямотока" явление памяти гелия, обусловленное насосом 1, снижается этим насосом 14, 35В качестве примера; насосы 7 и 14 явля ются турбомолекулярными с расходом 100 л/с.Насос 9 является лопаточным с расходом 4зм /ч а форвакуумный насос 1 имеет расход20 м /ч, 40В процессе тестирования в работе с режимом "прямотока" после выполнения форвакуумирования насосами 1 и 14 закрываютвентили 5 и 13 и открывают вентиль 11,Получают максимально 10атм смз/с со 45скоростью откачки 8 л/с,В случае измерения большой утечки работают в режиме "противотока": вентиль 11остается открытйм, а после форвакуумирования емкости 4 открывают вентиль 13. Таким образом можно работать при высокомдавлении (выше 10 мбар) со скоростьюоткачки 15 л/с),Для...