Устройство для детектирования утечки с помощью газа индикатора

(5 УСТРОИСТВН Я УТЕЧКИ СКАТО РА(57) Изобретениеметичность с попозволяет повыстем уменьшенияна линии 2 первустановлен дополханический насос э (РЙ) кл,601 МЗ/20,ду форвакуумным форвакуумным на. По фиг. 1 система детектирования утечки с помощью газа-индикатора имеет форвакуумный насос 1, например лопаточный насос. Этот лопаточный насос 1 связан стороной всасывания с трубопроводом 2, другой. конец которого связан сходным фланцем 3 с тестируемой емкостью 4. Этот трубопровод 2 снабжен форвакуумным вентилем 5. Газоанализатор 6, такой как масс-спектрометр, на. строенный, например, на гелий, связан со стороной всасывания вторичного механического насоса 7, Речь идет.о молекулярном насосе типа турбомолекупярного, например, но можно также использовать другие типы насосов, например насос Хольвека лли гибридный насос.Сторона нагнетания вторичного насоса 7 связана каналом 8 с первичным насосом 9, таким как лопаточный насос.Тестируемая емкость 4 связана, кроме того, со стороной всасывания вторичного насоса 7 связью 10, снабженной входным вентилем 11.Эта связь позволяет выполнить тест в режиме "прямотока". ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОВЕДОМСТВО СССР(56) Патент США М 44729621984.,Изобретение относится к системе детектирования утечек с помощью газа-индикатора,состоящей из трубопровода, снабженного форвакуумным вентилем и обеспечивающего связьтестируемой емкости со стороной всасыванияфорвакуумного насоса, газоанализатора; связанного со стороной всасывания вторичногомеханического насоса, нагнетающая сторонакоторого связана каналом с первичным насосом по меньшей мере одной связью, снабженной входным вентилем, связывающимуказанную емкость с вторичным механическим насосом.Цель изобретения - повышение чувствительности за счет уменьшения фонового .шума, который существует в этой системедетектирования.На фиг. 1 показана система детектиро-,вания утечек с помощью газа-индикатора вслучае, когда используются два различныхлопаточных насоса; на фиг, 2 - система детектирования в случае, когда используетсялишь один лопастный насос; на фиг. 3 -вариант с одним лопаточным насосом, работает в режиме "противотока",касается контроля на гермощью газа-индикатора и ить чувствительность пуфонового шума. Для этого ичной откачки изделия 4 нительный вторичный ме, расположенный межвентилем 5 и первичным сосом 1. 2 з.п. ф-лы, 3 ил,Кроме того, факультативно, система можетиметь другую связь 12, снабженную также,входным вентилем 13, который связывает непосредственно сторону нагнетания вторичногонасоса 7 с тестируемой емкостью посредством 5трубопровода 2. Эта связь 12 позволяет выполнить тест в режиме "противотока",Согласно изобретению, второй вторичный механический насос 14 расположен натрубопроводе 2, ниже форвакуумного вентиля 5,Связь 12 присоединяет трубопровод 2ниже насоса 14, Благодаря этому вторичному механическому насосу 14, например молекулярному насосу 14, например 15молекулярному насосу турбомолекулярноготипа, быстро снижают входное давление,используя большую скорость откачки молекулярного насоса ниже 10 мбар, а отличиеот лопаточного насоса при этих давлениях. 20Так достигается граничное давление порядка 10 мбар, существенно меньшее 10мбар, достигаемых ранее в предшествующемуровне техники, откуда лучшее удаление, входе фазы форвакуумирования, гелия, содержащегося в воздухе; таким образом устраняется фоновый шум.Другое преимущество состоит еще втом, что этот насос 14 препятствует ретродиффузии масла насоса 1, откуда реализация собственного детектора,Наконец, в случае работы в режиме"прямотока" явление памяти гелия, обусловленное насосом 1, снижается этим насосом 14, 35В качестве примера; насосы 7 и 14 явля ются турбомолекулярными с расходом 100 л/с.Насос 9 является лопаточным с расходом 4зм /ч а форвакуумный насос 1 имеет расход20 м /ч, 40В процессе тестирования в работе с режимом "прямотока" после выполнения форвакуумирования насосами 1 и 14 закрываютвентили 5 и 13 и открывают вентиль 11,Получают максимально 10атм смз/с со 45скоростью откачки 8 л/с,В случае измерения большой утечки работают в режиме "противотока": вентиль 11остается открытйм, а после форвакуумирования емкости 4 открывают вентиль 13. Таким образом можно работать при высокомдавлении (выше 10 мбар) со скоростьюоткачки 15 л/с),Для обеспечения контроля больших объемов, достигающих, например 200 л, возможно реализовать "чистый тест", оставляяодновременно вентили 11 и 13 открытыми,Чувствительность уменьшена в отношении 3,но скорость подкачки гелия переходит к 23л/с, откуда улучшение времени отклика,На фиг, 2 представлена упрощеннаясхема, в которой отсутствуетлопаточный насос, обозначенный позицией 19, играющийв действительности роль двух насосо 61 и 9на фиг. 1. Тогда был добавлен дополнительный вентиль 15.В процессе фбрвакуумирования вентили 5 и 15 открыты, а вентили 11 и 13 закрыты,В процессе тестирования в прямотокезакрывают вентили 5 и 15 и открывают вентили 11 и 13,В процессе тестирования в противотокевентиль 11 остается закрытым, а три вентили 5, 15 и 13 открыты,Позицией 812 отмечен единственныйтрубопровод, который играет роль канала 8фиг. 1 и роль связи 12 этого фиг, 1. На фиг,2 используемый лопаточный насос 19 имеетрасход, соответствующий расходу насоса 1(фиг, 1), следовательно 20 мз/ч в указанномне ограничивающем примере,Таким образом, благодаря системе де- .тектирования теперь имеется аппаратура случшими характеристиками, чем у наилучших приборов с диффузионным насосом словушкой на жидком азоте,Характеристики,которые не были достигнуты до настоящеговремени на аппаратах с механическими молекулярными насосами в применяемых схемах,Действительно, получают;- высокуючувствительность:10 атм/см /с;- высокую скорость откачки:- 8 л/с для малых утечек- 15 л/с для большихутечек,- 23 л/с для быстрого,поиска утечек на значительных объемах,- система чистого детектирования,- пониженная памятьгелия.Устройство применимо к любой системедетектирования, имеющей описанные компоненты, Причем комплекс этих компонентможет быть перегруппирован в аппарате,называемом детектором, но этот аппаратможет в случае необходимости группировать лишь часть компонент, что позволяетреализовать меньшие и более легкие детекторы, если например контролируемый объем обладает собственной группой откачки.Формула изобретения1, Устройство для детектирования утечки.с помощью газа-индикатора, содержащее первый трубопровод, форвакуумныйнасос, соединенный с этим трубопроводом,форвакуумный вентиль, расположенный состороны всасывания форвакуумного насоса, предназначенный для соединения с испытываемой емкостью, второй трубопровод с входным вентилем, соединенный с ним стороной всасывания первый вторичный 5 механический насос, анализатор газа, соединенный с стороной всасывания первого вторичного механического насоса, третий трубопровод, связывающий сторону нагнетания первого вторичного механического на О соса с форвакуумным насосом, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности путем уменьшения фонового шума, оно снабжено вторым вторич- но ным механическим насосом, расположенным нэ первом трубопроводе между форвакуумным вентилем и форвакуумым насосом.2, Устройство по и. 1, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что третий трубопровод соединен с вторым трубопроводом между вторым вторичным механическим насосом и форвэкуумным насосом,3. Устройство по и, 2, от л и ч а ю ще ес я тем, что оно содержит дополнительный вентиль, расположенный на втором трубопроводе между вторым вторичным насосом и соединением третьего трубопровода с первым трубопроводом,1809919 Составитель И: Луче Техред М.Моргентал кторКорректор А. Мотыль Заказ 1300Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям и113035; Москва, Ж, Раушская наб., 4/5Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Га