Авгуцевич

Номер патента: 1770730

Опубликовано: 23.10.1992

Авторы: Авгуцевич, Григулис, Порис

МПК: G01B 5/28

Метки: геометрических, параметров, пластин

...в области опорных точек и вне их для контролируемой пластины судят о ее неплоскостности.Известно устройство, содержащее базовую поверхность с набором выступающих опорных элементов для полупроводниковых пластин, которые при наличии отсчетного узла и блока индикации служит для контроля параметров /3/.Недостатком известного устройства является то, что в нем не достигается необходимая точность из-за неопределенности расположения пластины на множестве опорных шариков.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому устройству, реализующему способ, является устройство для контроля геометрических параметров пластин прототип /4/), содержащее базовую поверхность с тремя выступающими опорными элементами и отсчетный узел, выполненный в...

Номер патента: 1355914

Опубликовано: 30.11.1987

Авторы: Авгуцевич, Григулис, Силиньш

МПК: G01N 22/00

Метки: измеритель, параметров, слоистых, электро-физических

...материала 6, индикатор 7 соединен с короткозамкнутым отрезком 3 посредством элемента связи, расположенногомежду входом излучателя и отверстиемсвязи,Измеритель электрофизических пара 50метров слоистых материалов работаетследующим образом,СВЧ-энергия от СВЧ-генератора 1распространяется по короткозамкнутомуотрезку 3 и возбуждает конец внут 55реннего проводника 4 отрезка 2 коаксиальной линии, Таким образом, поступая на выход излучателя и взаимодей 142ствуя с контролируемым образцом, часть СВЧ-энергии. проходит мимо конца внутреннего проводника 4 и отражается от короткозамкнутого конца 5, При нагружении выходы излучателя проводящим контролируемым материалом 6 без слоя диэлектрика при выполнении условий(0,2-0,24) Ъ 1 = (026-03)...