Арямова

Номер патента: 568987

Опубликовано: 15.08.1977

Авторы: Арямова, Гапоненко, Путилин

МПК: H01L 27/12

Метки: связью, схем, тепловой, теплопередающее

...разрезЛ - А фиг. 1.Теплопередающее устройство состоит из кармана 1 монокристаллического кремния, расположенного в диэлектрической подложке 2. В кармане методами полупроводниковой технологии выполнены источники тепла 3, 4 и термочувствительные элементы 5, 6. Между зонами 7 - 10, в которых расположены источники тепла и термочузстзительчыс элементы, расположены зоны 11, 12 и 13, проводимость,которых противоположна проводимости зон 7 - 10,Формирование кармана или островка монокристаллического кремния в виде изогнутого стержня позволяет использовать для размещения теплопроводящего стержня не только длину, но и ширину подложки 2. Бла. годаря этому длина теплопередающего устройства может быть уменьшена в несколько раз,Параметры полупроводника з...