Аношнн

Номер патента: 220714

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Аношнн, Роижин, Соколов

МПК: C23C 14/38

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...снабжен электрически связанными с ним направляющими штангами. Это обеспечивает равномерное покрытие на изделиях сложной конфигурации.На чертеже изображено описываемое устройство.Оцо состоит из вакуумной камеры 1, испарителя 2, катода 3 и направляющих штацг 4. Вакуумная камера электрически связана с плюсом высоковольтного выпрямителя и является анодом.Обрабатываемые детали б закрепляют ца направляющих штангах 4, и в цспаритель загружают испаряемый материал б. После этого камеру закрывают и вакуумируют. Получив необходимое разрежение, приступают к нанесению покрытия. От высоковольтного выпрямителя ца катод и анод подают разгоняющее напряжение до 3 кв. Через вентиль 7 в вакуумную камеру поступает балластный газ для повышения давления до...