Амазасиян

Номер патента: 630983

Опубликовано: 23.03.1985

Авторы: Амазасиян, Горюнов, Саркисян

МПК: G01N 21/88, H01L 21/66

Метки: выявления, дефектов, поверхности, полупроводниковых, приборов

...прибор 10, видеоусилитель 11сигнала Фотоответа,Устройство работает следующимобразом. Поляризованный свет от источника 1 направляется через электрооптическую ячейку 2 на сканирующее устройство 3. Последний формирует растр, который расщепителем 4светового луча расщепляется на двечасти: растр видеолуча и растр зондирующего луча. Первый из них проходит через поляризатор 5 и объективом 7 проецируется на экран 9,а второй - растр зондирующего лучаобъективом 8 фокусируется на поверхность исследуемого образца (поляризатор 6 не используется). Сигналфотоответа усиливается электроннымусилителем 11 и подается на электрооптическую ячейку, которая с поляризатором 5 составляет модуляторинтенсивности видеолуча. На экране9 Формируется...