Альтфедер

Номер патента: 1698914

Опубликовано: 15.12.1991

Авторы: Альтфедер, Володин, Хайкин

МПК: H01J 37/26

Метки: микроскоп, сканирующий, туннельный

...выполнены две параллельные вертикальныепрорези 15, образующие лепесток 16,шириной Й/2 (Н - наружный радиускорпуса) .25На внутренних и внешних цилиндрических поверхностях пьезоэлементов4 и б нанесено токопроводящее покрытие, которое выполнено в виде четырех, изолированных секторов,30Микроскоп работает следующим образом,Приближение острия иглы к исследуемой поверхности образца осуществляется в две стадии, 35На первой стадии производитсясближение иглы с образцом спомощьюспециального манипулятора, представляющего собой металлический стержень,который вводится во внутреннюю полость внутреннего пьезоэлемента 6 досоприкосновения с торцом иглы 9. Поддействием усилия, создаваемого манипулятором, игла, проскальзывая в иглодержателе, приближается к...