Патенты с меткой «задатчик-стабилизатор»

Номер патента: 1325420

Опубликовано: 23.07.1987

Авторы: Пистун, Стасюк, Теплюх

МПК: G05D 7/01

Метки: газа, задатчик-стабилизатор, малых, микрорасходов

...преобразователь с вторичным прибором.2. Задатчик-стабилизатор по п.1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, постоянный дроссель между полостями выполнен в виде капилляра с отноше- . нием его длины г, к площади Г поперечного сечения канала, равным 1132542Изобретение относится к областиавтоматического регулирования и можетиспользоваться в системах автоматизации технологических процессов произ 5водства полупроводниковых приборов,микросхем и других изделий, где требуется высокая точность задания малых и микрорасходов газов.Цель изобретения - повышение точнос- Оти задания и стабилизации расхода газа.,. На чертеже приведена принципиальная схема задатчика-стабилизатора малых и микрорасходов газа,Задатчик-стабилизатор содержит 15полости...