Задатчик-стабилизатор малых и микрорасходов газа

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН 9) (1 04 605 Р 7 ОМИТЕТ СССРНИЙ И ОТНРЫТИЙ ГОСУД АРС ТВЕННО ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕ ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ У СВИ К АВТ(71) Львовский политехнический институт им. Ленинского комсомола (72) Е.П.Пистун, И.Д.Стасюк,и З.Н.Теплюх(56) Авторское свидетельство СССР В 590703, кл, 6 05 0 7/01, 1975.Авторское свидетельство СССР У 924679, кл. С 05 Р .7/01, 1980. (54) ЗАДАТЧИК-СТАБИЛИЗАТОР МАЛЫХ И ИИКРОРАСХОДОВ ГАЗА(57) Изобретение относится к пневмоавтоматике и может использоваться в системах автоматизации технологических процессов производства полупроводниковых приборов., интегральных микросхем и других изделий, где требуется высокая точность задания малых и микрорасходов газа. Принципиальная схема задатчика-стабилизаторамалых и микрорасходов газа представлена на чертеже. Задатчик-стабилиза-.тор содержит полости 1 и 2 с постоянным дросселем 3 между ними, автоматический регулятор 4 давления газав полости 2 с регулирующим дросселем5, второй постоянный дроссель 6 налинии входа газа в полость 1 и второй автоматический регулятор 7 давления в полости 1 с регулирующим дросселем 8, дифманометрический преобразователь 9 с вторичным прибором 10,задатчики 11 и 12 автоматических регуляторов 4 и 7 и систему 13 термостабилизации 1 всех элементов. Постоянный дроссель 3 выполнен в, виде кадилляра с соотношением его длины к площади поперечного сечения канапа, обеспечивающим линейную расходную характеристику этого дросселя. 2 з.п. ф-лы,1 ил.1. Задатчик.-стабилиз атор малых и микрорасходов газа, содержащий две полости с постоянным дросселем между ними, автоматический регулятор с регулирующим дросселем, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повыше-.". ния точности задания и стабилизации расхода газа, он дополнительно снабжен другим постоянным дросселем, установленным на линии входа газа в первую полость, и другим автоматическим регулятором с регулирующим дросселем, причем автоматические регуляторы вы" полнены в виде регуляторов абсолютного давления газа в каждой полости, йх регулирующие дроссели установлены на выходе газа из этик полостей, к постоянному дросселю между полостями подключен дифманометрический измерительный преобразователь с вторичным прибором.2. Задатчик-стабилизатор по п.1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, постоянный дроссель между полостями выполнен в виде капилляра с отноше- . нием его длины г, к площади Г поперечного сечения канала, равным 1132542Изобретение относится к областиавтоматического регулирования и можетиспользоваться в системах автоматизации технологических процессов произ 5водства полупроводниковых приборов,микросхем и других изделий, где требуется высокая точность задания малых и микрорасходов газов.Цель изобретения - повышение точнос- Оти задания и стабилизации расхода газа.,. На чертеже приведена принципиальная схема задатчика-стабилизатора малых и микрорасходов газа,Задатчик-стабилизатор содержит 15полости 1 и 2 с постоянным дросселем3 между ними, автоматический регуля"тор 4 абсолютного давления газа в по".лости 2 с регулирующим дросселем 5,постоянный дроссель 6 на линии вкода 2 Огаза в полость 1 и автоматический ре"гулятор 7 абсолютного давления газав полости 1 с регулирующим дросселем8, дифманометрический измерительныйпреобразователь 9 с вторичным прибором 2510, эадатчики 11 и 12 автоматическихрегуляторов 4 и 7 и систему 13 термостабилизации всех элементов задатчикастабилизатора малых и микрорасходовгаза. ЗОЗадатчик-стабилизатор работает сле-.дующим образом,При прохождении газа через постоянные дроссели б и 3 и полости 1 и 2автоматические регуляторы 7 и 4, срав- збнивая сигналы от задатчиков 11 и 12с сигналами по давлению в полостях1 и 2, воздействуют на регулирующиедроссели 8 и 5 и обеспечивают постоянство абсолютных давлений в полоСтях 1 1 Ои 2, т.е. на вхьде и выходе постоян"ного дросселя 3, стабилизируя темсамым расход газа на заданном уровне,Измерение расхода газа осуществляется дифманометрическим измерительным 4 бпреобразователем 9 с вторичным прибо"ром 1 О Изменение задания задатчикустабилизатору производится с помощьюзадатчика 12 автоматического регуля"тора 7, а задание автоматическому ре- Вогулятору 4 поддерживается постоянными равным значению, установленному задатчиком 11 при наладке задатчикастабилизатора.Выполнение постоянного дросселя 3в виде капилляра с отношением его 0 2длины 1 к площади Й поперечного сечения канала, удовлетворяющим .условиюЛгде Р - абсолютное давление газапос ле капилляра;К - постоянный для данных условийработы коэффициент, обеспечивает получение линейной расходной характеристики этого дросселя а термостабилизация всех элементов задатчика-стабилизатора уменьшает влияние изменения температур газа и окружающей среды на точность задания и стабилизации расхода газа. Формула изобретения где Р - абсолютное давление газа после капилляра;К - постоянный для данных условий работы коэффициент,3. Задатчик-стабилизатор по п.1,о т л и ч а ю щ и й с я . тем, чтовсе его элементы термостабилизированы, ВНИИПИ Заказ 3107/42 Тираж 8 б 3 ПодписноеПроизв,-полигр, пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4