Патенты с меткой «ультрачистых»

Номер патента: 1663788

Опубликовано: 15.07.1991

Авторы: Базанов, Попов, Харламов

МПК: C03C 17/22, H05B 3/16

Метки: сред, ультрачистых, электронагревателя

...при температуре 600+ 10 С. После нанесения токопроводящей пленки на наружную поверхность кварцевого корпуса проводили его охлаждение в течение 1-1,5 мин под воздушной струей (скорость охлаждения в данном случае не имеет значения), Затем формировали токоподводы, для чего на кольцевые соединительные перемычки наносили силикатно-серебряную пасту и вжигали ее при 600+10 С в течение 30-40 мин.Применяемое оборудование;установка нанесения токоправццящих покрытм МК 12,31.00,00.000;р МК ЭОП 52 Ы/Ч 420,После изготовления проводили отмывку корпуса глубокообессоленной деионизованной водой (с электросопротивлением не менее 18 МОм). Отмывку осуществляли в протоке с расходом деионизованной воды 0.5 л/мин в течение 30 сут, Концентрация4+ионов Бп...