Патенты с меткой «трехлорсилана»

Номер патента: 894998

Опубликовано: 20.07.1999

Авторы: Баботин, Башкирова, Ойгенблик, Тартаковская, Хананова

МПК: C01B 33/03

Метки: кремния, трехлорсилана, четыреххлористого

Способ получения четыреххлористого кремния и трихлорсилана путем взаимодействия кремния или его соединений с хлористым водородом в кипящем слое при повышенной температуре в присутствии хлорсиланов, отличающийся тем, что, с целью удешевления процесса за счет увеличения степени использования кремния, хлорсиланы берет в жидком состоянии и вводят в виде взвеси с твердыми частицами кремния в нижнюю часть кипящего слоя на расстоянии не более 1,5 диаметров аппарата от основания.