Патенты с меткой «транспарентных»

Номер патента: 570005

Опубликовано: 25.08.1977

Авторы: Березин, Гуржеев, Захаров, Никитин, Сурис

МПК: G03C 5/00

Метки: транспарентных, фотошаблонов

...как на разность фаз Ф влияетглавным образом глубина травления(см, фиг. 1), необходимо прн локальномудалении маскирующего слоя,создавать 15такую глубину рельефа рисунка, котораяобеспечивает необходимую разность фазМ = К 2 Ъ , где К = О, 1, 2, 3 и т. д.Необходимую глубину травления можноустановить путем послойного удаленияЗОмаскирующеГо слоя и, если необходимо,прозрачной основы шаблона с одновременным измерением разности фаз, например,с помощью рефратометра Жаменя,Выполнение в фотошаблоне глубины геометрического рельефа в каждом конкретном случае определенного размера, обеспечивяюц 1 его оптическую разность фяз между лучами актиничного света, процедшими через маскирующий и прозрачный участки шаблона кратную 23, подроляет устранить...