Патенты с меткой «тетраиодида»

Номер патента: 127025

Опубликовано: 01.01.1960

Авторы: Иноземцева, Рязанцев

МПК: C01B 33/031

Метки: высокой, кремния, разложением, термическим, тетраиодида, частоты

...Коническим срезом ширины танталовой ленты создается искусственный перепад температуры по длине трубы ( - 200),Работа установки складывает я из следующих операций: из всей системы, проверенной предварительно на вакуумную плотность, форыкуумным насосом откачивается воздух; одновременно включается нагрев танталовой трубы и фреоновое охлаждение металлической ампулы; иодит кремния в кварцевой ампуле расплавляется прои помощи горелки, после чего под ампулу подставляется печь для поддержания температуры на уровне 135 - 140. Пары тетраиодида кремния поступают в танталовую трубку, нагретую до 880 - 1100, где происходит их термическое разложение; кремний при этом откладывается на стенках танталовой трубы, а иод конденсируется в металлической...

Номер патента: 1802532

Опубликовано: 27.08.1996

Авторы: Варкентин, Мухаметшина, Парахин, Тарасевич, Чекмарев, Шибаев

МПК: C22B 34/14

Метки: металлического, низкотемпературной, плазме, тетраиодида, циркония

...металлического циркония из тетрайодида в низкотемпературной плазме, включающее испаритель, реактор осаждения с подложкой, установленной в индуктор, трубку, соединяющую реактор и испаритель отличающееся тем, что, с цел ью упрощения процесса и увеличения скорости осаждения металла, оно снабжено медным кольцом, установленным по прототипумедное кольцо 6=75 ммН=25 мм (0,5 б)6=25 ммН=35 мм (0,6 биид.)б БОммНмм (0,5 бинд.)6=50 ммН 10 мм(0,2 бинд.)6 50 ммН 50 мм(1 бинд.) 802532 4вертикальном реакторе 1 и откачиваютсистему до остаточного давления приблизи.тельно 110 торр, Затем подложкт нагревают индуктором 7 ВЧ-генератора до 1500 С,при этом в области подложки возбуждаетсяразряд, При нагреве испарителя тетрайодидчерез соединительную трубку 2 и...