Патенты с меткой «тензоэлементов»

Номер патента: 1259104

Опубликовано: 23.09.1986

Авторы: Борщев, Осипов, Спалек, Тихомиров, Харенко

МПК: G01B 7/16

Метки: группового, полупроводниковых, тензоэлементов, чувствительных

...присоединяют вывод-ные проводники, нагружают подложку в зоне расположения. этого тензоэлемента постоянной механической нагрузкой и измеряют в паузах процесса травления выходной параметр контрольного тензоэлемента,Кроме того, предварительно в подложке травят углубление для размещения контрольного тензоэлемента, аподложку нагружают сосредоточеннойсилой,Контрольный тензоэлемент формируют в виде интегрального тензомоста.1На чертеже представлена подложкав случае травления углубления дляразмещения контрольного тензоэлемеита, поперечное сечение.Подложка 1 из исходного полупроводникового материала содержит группу 2 тензоэлементов, локальную мембрану 3, контрольный тензоэлемент 4 и подставку 5.,Способ осуществляют следующим...