Патенты с меткой «t-vhsljs»

Номер патента: 342249

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Лаукманис, Фелтынь

МПК: H01L 21/306

Метки: ifiiitt, t-vhsljs, tия, библиотекатравитель, всесоюзная, д-ггут, лjsи

...монокристаллических полупроводниковых материалов. Оно может быть использовано для определения этих несовершенств на разных технологических стадиях создания активных элементов в промышленности полупроводников, в том случае когда применяются паро-газовые среды (например, при эпитаксиальном наращивании) .Известны газовые травители для полупроводников на основе водорода и хлористого водорода, Эти травители непригодны для выявления дислокаций на поверхности полупроводников.Предложенный травитель представляет собой смесь водорода, хлористого водорода и хлора. Он позволяет выявить дислокации при высоких температурах на локальных участках поверхности, созданных, например, при помощи диэлектрических пленок 81 О 2, Яэ 11 п и др. Наилучшие...