Патенты с меткой «сверхвысокочастотное»

Страница 2

Сверхвысокочастотное разрядное устройство

Загрузка...

Номер патента: 1829879

Опубликовано: 27.08.1996

Авторы: Вашкевич, Грушецкий, Достанко

МПК: H05B 7/18, H05H 1/46

Метки: разрядное, сверхвысокочастотное

...(на чертеже не показаны), Внутри резонатора 1 на его оси установлен реактор 8, он загерметизирован задним фланцем 9, установленным на задней стенке 3 резонатора, на оси реактора и на задней стенке 3 резонатора выполнено отверстие 10 и установлен фланец 11 для соединения с вакуумной системой (на чертеже не показана). Реактор 8 с другой стороны закрывается крышкой 12, которая установлена на дверце 5. В крышке 12 имеется патрубок 13, через который подается Сверхвысокочастотное разрядное устройство, содержащее систему возбуждения электромагнитного поля, выполненную в виде резонатора и двух излучающих элементов, подключенных к системе генерации СВЧ 829879 4 рабочий газ, Данное устройство разработано для получения разрядов с большим...