Патенты с меткой «сублимат-фосфора»

Номер патента: 1700047

Опубликовано: 23.12.1991

Авторы: Антонов, Сухарев

МПК: C09K 11/56

Метки: вариации, свечения, сублимат-фосфора, сульфида, цветом, цинка

...598 59 э585 Г) 20 ном нагреве исходного материала, Режимы испарения: удельцл 5 2 опнГ)сть Вис.парителе 800-900 Вт/см, скоростьОсаждения слоя 20-30 цм/мин темпера)тура подложки 150 С. Толщина полу -ценного слоя 300 цм,,(алее, це производ 5 развлкуумирова -ция рабочего объел, осуществляют заМЕцу тигля с диэлектрическим материл)22 в испарителе ця тигель с сублиматФосфоро. 718;й 1,) ,1,5 ллс,7). Панесепзе сублимлт)осЪорл ца подложку проводят также посредством электроннолучезоо и.царен;я В 5)акууле приДующих режимах: удельная мощность в4 спар 5 теле (50-200 Вт/см; скоростьГ)саждеция 30 - О цм/мин; температураоПодложки 250(,. Толщина полученногоСлоя б 00 нм.20После нанесения слоя лк)мицофорао)саждают второй диэлектрический слой, 25аналогичный...