Способ вариации цветом свечения сублимат-фосфора из сульфида цинка

(21) 4463 (22) 26.0 (46) 23. 1 (71) Одес ститут (72) Ю. Г, 53) 621. ова Изобретение о люминофоров,тся к технолоа име к спо иации цветомульфидаеночныхаторахизобретслужбы вечения сублимцинка, исполь-фосмаго ора из тонко ых индэлектролюминесцентременног а Цельюние сроние цвефосфораСпасразом яв тс ьпп ндик рания расшире в а изл сублима осуществля б л ку первыирдога раанно-лучеПример. опроводящим праатавят подложку т ачным идимо сОСУДАРСТЯЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПРИ ГКНТ СССРОПИСАНИЕ ИЗО ВТОРСНОМЪ/ СВИДЕТЕЛЬСТВ.91. Бюл. Р 47кий политехнический и Сухарев и С.Ю.Антонов ( 3,032,35:546,221 47(ОЯЯ.Я) (56) Тапа 1 са Н, Ппп Г 11 тп тпп 1 гсо 1 аг е 1 есйго 1 цтп 1 пеясепТ йечсея ттх)т а Яа - ге 1 ауег, Ли 1. 01 яр 1 ау.йея. ГонГ.Бцп Л 1 еяо, Са 1 йагпха, 1985, р. 15 - 17, ;(54) СПОСОБ ВАРИАЦИИ ЦВЕТОК СВЕЧЕНИЯ СУБЛИИАТ-ФОСФОРА ИЗ СУЛЬФИДА ЦИННА (57) Изобретение относится к технологии сублимат-фосфоров на основе сульфида цинка, используемых в тонкопленочных электролюминесцентных индикаторах переменного тока (ТПЗЛИ). Цель увеличение срока службы индикатора и расширение цветового тона излучения сублимат-фосфора. Готовят подложку из стекла с покрытием из оксида ал Фпрошедшего фотолитографию для форм- рования прозрачных электродов ТЛЗЛИ требуемой конфигурации, Осаждают на подложку первый диэлектрический слой из твердого раствора НгО -УОз, затем проводят асажденке сублимат-фосфа - ра кз сульфкда цинка, активированного фтаркдам марганца в пределах 0,5- 2,0 мас.Е, после чего осаждают второй дкэлектркческкй слой кз того же материала,. Далее формируют алюмкниевттй контакт, Прк изменении частоты прилаженного напряжения ат 50 Гц до 15 кГц набзподают изменение цвета свечения ТПЗЛИ ат красного до желтого в пределах длин волн 585-644 нм, Срок службы индикатора, характеризуемьпт временем, за которое яркаст: инди- катора падает да уровня 502 ат начальнага значения, составляет скола Се 250 ч, в то время как для прототипа 152 ч. 1 з.п. ф - лы, 1 .абл. ти спектра покрытием из оксида олова. аР Затеи проводят фотолитографию па слою СюР оксида алова с целью формирования 4:ь прозрачных электродов требуемой конфкгурапки. После этага подложку совмещают с биметаллическим трафаретом и закрепл.-,.ют в падложкадержатель вакуумной установки, после чего откачивают рабочий объем установки даеА давления 1,3 10 Па и нагревают подложку да 150 С.Затеи осаждают на подлаждиэлектрический слой из твествора НГО-УО при эпектр1700047 щм трацсфорлз торомКоординаты цветности СВ ЕЧ ни Я Цзетовойтон, цм актпзлт)1)амарганцаВ С)СТЛ)ЗЕ пряжеция нозбужде - ни 5 ) Гц суГ 15 лтгфосф)рл, МЛ 4 О, )2 О,Г)1 0,57 0,53 О,7 О, 3 0,37 О, 1 0,73 50 5 ОО 5ОО 15ОО Г0,500,5О1; 607 598 59 э585 Г) 20 ном нагреве исходного материала, Режимы испарения: удельцл 5 2 опнГ)сть Вис.парителе 800-900 Вт/см, скоростьОсаждения слоя 20-30 цм/мин темпера)тура подложки 150 С. Толщина полу -ценного слоя 300 цм,,(алее, це производ 5 развлкуумирова -ция рабочего объел, осуществляют заМЕцу тигля с диэлектрическим материл)22 в испарителе ця тигель с сублиматФосфоро. 718;й 1,) ,1,5 ллс,7). Панесепзе сублимлт)осЪорл ца подложку проводят также посредством электроннолучезоо и.царен;я В 5)акууле приДующих режимах: удельная мощность в4 спар 5 теле (50-200 Вт/см; скоростьГ)саждеция 30 - О цм/мин; температураоПодложки 250(,. Толщина полученногоСлоя б 00 нм.20После нанесения слоя лк)мицофорао)саждают второй диэлектрический слой, 25аналогичный первому,Зятем извлекают п)д 5 ожку из вакуумной камеры, сонмиЛют с трафаретомдззя 0 сждени 5 пр Отино эцектр Одов . Протиноэлеетр)ды пан ос 5 т В 2)лкуумной установке пугем исг арецця ал)м 5 ни 5 марки А 99.После этого активную часть сформиронаццого тзки Образом электролюминесцецтногГ) зндикятора герметизируютстеклянной пластинкой с помощью герметика ца основе эпоксидной смотзы и ими,дозола. После ге)метизлции с помопэю кОН тактцой рамки к электродам индикатора,Оподключают сицусоидлльцое возбуждающее напряжение амплитудой 150-250 Вот гене)лтонл тцнл Г 3-109 с повппаю Коццецт);дня лстотл нл При изменении частоты сицусоидальцого напряжения возбуждения от 50 Гц до 15 кГц визуальцо наблюдают изменение цвета свечения индикатора от красного до желтого, При этом диапазон изменения цветового тона составляет 591- 620 цм, в то время клк д.я сублиматфосфора в электролюминесцентном индикаторе по известному способу оц составляет 5 б 2-588 нм, Кроме того, способ вариадии цветом свечения сублиматфосфора по изобретению позволяет повысить срок слчжбы индикатора с 132 ч для известного способа до 250 ч за счет отсутствия барьерного слоя,В таблице представлены данные по диапазону изменения цветового тона индикаторов, полученных на основе сублимат-фосфора по изобретению при различных составах люминоЬора и режимах возбуждения его свечения. Формула и з о б р е т ения1. Способ вариации цветом свечения сублимат-Ьосфора из сульфида ци 5 - ка, активировацного Ьторцом металла, в тонкопленочном электролюминесцентном индикаторе переменного тока путем изменения частоты возбуждаазего переменного напряжения, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целвю повьпцеция срока службы индикатора и распиреция цветового тона 2 злучения, исполь:зуют сульфид цинка, активированцый Фторидом марганца в количестве 0,5- 2,0 мас.7, и располагают его между двумя диэлектрическими слоями из тве)дого растнора оксидов гафния и иттрия.2. Способпоп, 1, отличаю - щ и й с я тем, что частоту переменного напряжения в процессе возбуждения изменяют от 50 Гц до 15 кГц.10004 Продолжение тнблицы 1,ветовойтон нм Координаты цветности Концентрацияактиватора -марганцав составесублиматфосфора,мас. 7. Частота на свечения пряжениявозбужцения, Гц 500 5000 15000 50 500 5000 15000Составитель В. БожевольновТехред Л.Сердюкова Корректор А. Обручар Редактор С.Пекарь Заказ 4443 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям нрн ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101 1,5 1,5 1,5 2,0 2,0 2,0 2,0 0,65 0,60 0,57 О,бй 0,69 0,62 0,62 0,32 О,;5 0,39 0,28 0,29 0,35 0,35 613 600 591 633 626 604 604